በከፍተኛ ሙቀት፣ ከፍተኛ-ቫኩም እና ጠንካራ መግነጢሳዊ መስክ አካባቢ የማኅተም ቀለበቶች ምርጫ እና አተገባበር

ከክፍል ሙቀት እስከ 250 ዲግሪ ሴንቲ ግሬድ የሚደርስ የሙቀት መጠን በሚጠይቁ የክወና ሁኔታዎች፣ መግነጢሳዊ አካባቢ መኖር እና እጅግ በጣም ከፍተኛ የሆነ ቫኩም (በተለምዶ ከ10⁻ ፓ በታች ግፊት ተብሎ ይገለጻል) ተገቢ የማተሚያ ቀለበቶችን መምረጥ በጣም አስፈላጊ ነው። እንደዚህ ያሉ ሁኔታዎች በብዛት የሚገኙት በላቁ ሳይንሳዊ የምርምር ጭነቶች (ለምሳሌ፣ ቅንጣት አፋጣኝ፣ ውህድ የሙከራ መሳሪያዎች)፣ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች (ለምሳሌ፣ etching machines፣ ion implanters) እና የኤሮስፔስ ፕሮፑልሽን ሲስተሞች።

ዋና ተግዳሮቶች እና የማተም መስፈርቶች

ውጤታማ ማኅተምን ማሳካት የሚከተሉትን ወሳኝ መስፈርቶች በአንድ ጊዜ ማሟላት ያስፈልጋል።

1. .ከፍተኛ የሙቀት መቋቋም;ቁሱ በ 250 ዲግሪ ሴንቲግሬድ ውስጥ የረጅም ጊዜ ቀዶ ጥገናን መቋቋም አለበት, የመለጠጥ እና የማተም ስራን ያለመበስበስ እና ማለስለስ.
2. .ዝቅተኛ የጋዝ ማፍሰሻ መጠን::እጅግ በጣም ከፍተኛ በሆነ የቫክዩም አከባቢዎች ውስጥ የቁሱ አጠቃላይ የውጪ መጠን በጣም ዝቅተኛ መሆን አለበት (በተለይ <1×10⁻⁸ ፓ.ኤም.ኤም./ ሰ) ቫክዩሙን ሊበክሉ የሚችሉ ተለዋዋጭ ንጥረ ነገሮችን ላለመልቀቅ።
3. .መግነጢሳዊ ጣልቃገብነት መቋቋም/ተኳኋኝነት፡በመግነጢሳዊ አከባቢዎች ውስጥ ፣ የማተሚያው ቀለበት ቁሳቁስ ራሱ መግነጢሳዊ ያልሆነ ወይም በመግነጢሳዊ መስክ ውስጥ ጣልቃ የማይገባ መሆን አለበት ፣ ይህም ብዙውን ጊዜ ፌሮማግኔቲክ ያልሆኑ ቁሳቁሶችን መጠቀም ይፈልጋል።
4. .የጨረር መቋቋም (የሚመለከተው ከሆነ):ionizing ጨረር ካለ (ለምሳሌ፣ በአንዳንድ የሙከራ አወቃቀሮች)፣ ቁሱ የጨረር ጉዳትን መቋቋም አለበት።
5. .መካኒካል ንብረቶች:በቂ የመለጠጥ መጠን (በተለምዶ ከ 80% በላይ ያስፈልገዋል) እና የጨመቁትን ስብስብ መቋቋም የስርዓት ግፊት መለዋወጥ እና የሙቀት ብስክሌትን ለመቋቋም አስፈላጊ ናቸው.

ተስማሚ የማተሚያ ቀለበት ዓይነቶች እና ቁሳቁሶች

በፍለጋ ውጤቶቹ ላይ በመመርኮዝ የሚከተሉት የማተሚያ ቀለበት ዓይነቶች እና ቁሳቁሶች ለእነዚህ ሁኔታዎች መፍትሄዎች ተመራጭ ናቸው ።

1. የብረት ማኅተሞች

የብረታ ብረት ማኅተሞች ዝቅተኛ የጋዝ መውጫ፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠን መቋቋም እና መግነጢሳዊ ተኳኋኝነት መስፈርቶችን በሚያሟሉ እጅግ በጣም ከፍተኛ የቫኩም አካባቢዎች የወርቅ ደረጃ ተደርገው ይወሰዳሉ።

• .የቁሳቁስ ምርጫ:.
  • .ከኦክስጅን ነፃ የሆነ መዳብ::ይህ በጣም የተለመደው ምርጫ ነው. በፍላንግ ወለል ላይ ጥቃቅን ጉድለቶችን ለመሙላት ከታመቀ ስር በሚፈስ ፕላስቲክ መታተምን በማሳካት እጅግ በጣም ጥሩ የሆነ የፕላስቲክ መበላሸት ችሎታን ያሳያል። መግነጢሳዊ ያልሆነ፣ ከፍተኛ የሙቀት-ሙቀትን የመቋቋም አቅም ያለው እና ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያለው መጋገርን (ብዙውን ጊዜ ከ250 ዲግሪ ሴንቲግሬድ በላይ) በመቋቋም ከፍተኛ የቫኩም መጠንን ለማግኘት የጋዝ ማፍሰሱን ለማፋጠን ያስችላል፣ ይህም ሰፊ አተገባበርን ቀዳሚ ምርጫ ያደርገዋል።
  • .ንጹህ አሉሚኒየም;እንዲሁም ማግኔቲክ ያልሆነ እና በአንጻራዊነት ርካሽ። ለመመስረት እና ለመዝጋት ይበልጥ ለስላሳ እና ቀላል ነው፣ ነገር ግን በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ ያለው ሜካኒካል ጥንካሬ ከኦክስጂን-ነጻ መዳብ ያነሰ ሊሆን ይችላል።
  • .ብር / ወርቅ;እነዚህ ብረቶች ለየት ያለ አፈፃፀም እና እጅግ በጣም ዝቅተኛ የጋዝ መውጫ ዋጋዎችን ይሰጣሉ። ነገር ግን፣ በጣም ከፍተኛ ወጪያቸው በተለይ አጠቃቀማቸውን ለልዩ ወይም ለከፍተኛ የምርምር መተግበሪያዎች ይገድባል።
• .የተለመዱ ውቅረቶች:.
  • .Conflat Flange (CF) ማህተም::ከኦክሲጅን ነፃ የሆነ የመዳብ ጋኬት ከማይዝግ ብረት ቢላ-ጠርዝ ፍላጅ ጋር ተጣምሮ ይጠቀማል። በቦልት ቅድመ ጭነት ፣ የመዳብ ጋኬት በፕላስቲክ መልክ ይለውጠዋል እና ወደ ቢላዋ-ጠርዙ ይነክሳል ፣ ይህም እጅግ በጣም ከፍተኛ ታማኝነት ያለው የማይንቀሳቀስ ማህተም ይፈጥራል። ይህ እጅግ በጣም ከፍተኛ በሆነ የቫኩም ሲስተም ውስጥ መደበኛ ውቅር ነው።
  • .ጸደይ-የበለጠ ማኅተሞች (ለምሳሌ ሄሊኮፍሌክስ)፡የብረት ጃኬት (ለምሳሌ፣ ከኦክሲጅን ነፃ የሆነ መዳብ፣ ብር፣ አይዝጌ ብረት) እና የውስጥ ምንጭ። ፀደይ ቀጣይነት ያለው የማካካሻ ሃይል ይሰጣል፣ በስርዓቱ ውስጥ ካለው የሙቀት መስፋፋት/መቃቃር እና ጥቃቅን ለውጦች ጋር መላመድ ያስችላል፣ ይህም በጣም ከፍተኛ የማተም አስተማማኝነትን ያስከትላል። በተለይ የሙቀት ብስክሌት ወይም ንዝረት ላላቸው መተግበሪያዎች ተስማሚ ናቸው.

2. Perfluoroelastomer (FFKM)

የስርዓት ዲዛይኑ ለኤላስቶሜሪክ ማኅተሞች የበለጠ ተስማሚ ከሆነ ወይም የበለጠ የመጫኛ ምቾትን የሚፈልግ ከሆነ ፣ Perfluoroelastomer (FFKM) በጣም ውድ ቢሆንም ከፖሊመር ቁሳቁሶች መካከል ከፍተኛ ደረጃ ምርጫን ይወክላል።

• .ባህሪያት:እንደ የፍሎሮካርቦን ላስቲክ የመጨረሻ ስሪት ተደርጎ ሊወሰድ ይችላል። በሞለኪዩሉ ውስጥ ያሉት ሁሉም የሃይድሮጂን አቶሞች ከሞላ ጎደል በፍሎራይን አተሞች ስለሚተኩ፣ FFKM እጅግ በጣም ጥሩ የሆነ የሙቀት መቋቋም (ከ 300 ዲግሪ ሴንቲ ግሬድ በላይ መቋቋም ይችላል) እና በጣም ከባድ ኬሚካላዊ ሚዲያዎችን እና ፕላዝማዎችን የመቋቋም ችሎታ ያለው አስደናቂ ኬሚካዊ የመቋቋም ችሎታ አለው።
• .የቫኩም አፈጻጸም::በልዩ አቀነባበር እና በንፁህ ሂደቶች የተሰሩ የኤፍኤፍኤምኤም ማተሚያ ቀለበቶች እጅግ በጣም ዝቅተኛ የጋዝ መውጫ ተመኖች እና ሊወጡ የሚችሉ ይዘቶችን ያሳያሉ ፣የሴሚኮንዳክተር እና እጅግ በጣም ከፍተኛ የቫኩም መሳሪያዎችን ጥብቅ መስፈርቶች ያሟላሉ።
• .መግነጢሳዊ ባህሪያት:ኤላስቶሜሪክ ቁሶች በአጠቃላይ መግነጢሳዊ ያልሆኑ እና በመግነጢሳዊ መስኮች ላይ ጣልቃ አይገቡም.
• .መተግበሪያዎች፡በቫኩም ክፍሎች እና በሴሚኮንዳክተር ሊቶግራፊ እና ኢቲች ማሽነሪዎች እንዲሁም በኤሮስፔስ ሞተሮች ውስጥ ኦክሲዳይዘርን ለመዝጋት በሚበላሹ የጋዝ አቅርቦት ስርዓቶች ውስጥ በብዛት ጥቅም ላይ ይውላል።

3. ፍሎሮካርቦን ጎማ (ኤፍ.ኤም.ኤም/ቪቶን)

ፍሎሮካርቦን ላስቲክ ከፍተኛ ሙቀት ላለው የቫኩም አከባቢዎች በብዛት ጥቅም ላይ የሚውል ኤላስቶሜሪክ ማተሚያ ቁሳቁስ ሲሆን ይህም በአፈፃፀም እና በዋጋ መካከል ያለውን ሚዛን ይወክላል።

• .ባህሪያት:ጥሩ ከፍተኛ የሙቀት መጠን መቋቋም (በተለምዶ -20 ~ 250 ° ሴ) ፣ የዘይት መቋቋም እና ለአብዛኛዎቹ ኬሚካሎች የመቋቋም ችሎታ ይሰጣል።
• .የቫኩም አፈጻጸም::የመደበኛ FKM የውጭ ጋዝ መጠን ከብረታ ብረት እና FFKM ከፍ ያለ ነው። በአጠቃላይ ለከፍተኛ ቫክዩም (10⁻⁻ ~ 10⁻⁷ ፓ) አካባቢዎች ተስማሚ ነው። እጅግ በጣም ከፍተኛ ለሆነ የቫኩም አፕሊኬሽኖች ዝቅተኛ ጋዝ የሚወጣ ፍጥነት ያላቸው ምርቶች መመረጥ አለባቸው፣ እና ከፍተኛ የሙቀት መጠን ለጋስ ማስወገጃ መጋገር አስፈላጊ ሊሆን ይችላል (ትኩረት ለከፍተኛው የሙቀት መጠን ገደብ መከፈል አለበት።
• .መግነጢሳዊ ባህሪያት:መግነጢሳዊ ያልሆነ.
• .ማስታወሻ::ለጠንካራ አልካላይስ፣ ለኬቶን እና ለአንዳንድ የአስቴር አሟሚዎች መቋቋም አይችልም።

.የቁልፍ ባሕሪያት ንጽጽር፡የተወያየው የመጀመሪያ ደረጃ የማተሚያ አማራጮች-ከኦክስጅን ነጻ የሆነ የመዳብ ብረት ማኅተሞች፣ Perfluoroelastomer (FFKM) እና Fluorocarbon Rubber (FKM) - በቁልፍ ባህሪያቸው በእጅጉ ይለያያሉ። ከኦክስጅን ነጻ የሆነ የመዳብ ማህተሞች ከ 400 ዲግሪ ሴንቲግሬድ በላይ የሙቀት መጠንን ይቋቋማሉ እና በጣም ዝቅተኛ የጋዝ አወጣጥ ያሳያሉ, ይህም እጅግ በጣም ከፍተኛ ለሆነ ቫክዩም (<10⁻⁷ ፓ) መተግበሪያዎች ተስማሚ ያደርጋቸዋል። እነሱ መግነጢሳዊ ያልሆኑ እና ጥሩ የጨረር መከላከያ ይሰጣሉ, ነገር ግን የመለጠጥ እና ማካካሻቸው በፕላስቲክ ቅርጽ ወይም በውስጣዊ ምንጮች ላይ የተመሰረተ ነው. የእነሱ አንጻራዊ ዋጋ ከፍተኛ ነው. Perfluoroelastomer (FFKM) ማኅተሞች በግምት እስከ 320 ° ሴ ድረስ መሥራት ይችላሉ። እጅግ በጣም ዝቅተኛ የጋዝ መውጣት (ንፁህ-ደረጃ ስሪቶች ያስፈልጋሉ) እንዲሁም ለከፍተኛ ከፍተኛ ቫክዩም (<10⁻⁷ ፓ) ተስማሚ ናቸው፣ ማግኔቲክ ያልሆኑ፣ ጥሩ የጨረር መከላከያ ይሰጣሉ፣ እና እጅግ በጣም ጥሩ የተፈጥሮ የመለጠጥ እና የማካካሻ ችሎታ አላቸው። ነገር ግን አንጻራዊ ዋጋቸው በጣም ከፍተኛ ነው፡ ከFKM አስር እጥፍ ሊበልጥ ይችላል። Fluorocarbon Rubber (FKM) ማኅተሞች ዝቅተኛ ከፍተኛ የሥራ ሙቀት ወደ 250°C አካባቢ አላቸው። መካከለኛ የውጭ ጋዝ መጠንን ያሳያሉ (አነስተኛ የጋዝ መውጫ ቀመሮችን ይፈልጋል) እና ለከፍተኛ ቫክዩም (~ 10⁻⁻ - 10⁻ ፓ) ተስማሚ ናቸው። ምንም እንኳን መግነጢሳዊ ያልሆኑ እና ጥሩ የጨረር መከላከያ ሲሰጡ ፣ የመለጠጥ ችሎታቸው ጥሩ ነው ፣ እና መካከለኛ ወጪ አማራጭን ይወክላሉ።

ምርጫ እና የአጠቃቀም ምክሮች

1. .ቅድሚያ የሚሰጠው ምርጫ:.
   • ለንጹህ፣ እጅግ በጣም የሚፈለጉ እጅግ በጣም ከፍተኛ የቫኩም ሲስተም (ለምሳሌ፣ ቅንጣት አፋጣኝ፣ የጠፈር አካባቢ የማስመሰል ክፍሎች)፣የብረት ማኅተሞች (ከኦክስጅን ነፃ የሆነ መዳብ)ናቸውተመራጭ እና በጣም አስተማማኝመፍትሄ.
   • እጅግ በጣም ከፍተኛ የሆነ የቫኩም አካባቢዎችን ጨምሮየሚበላሽ ሚዲያ(ለምሳሌ ሴሚኮንዳክተር የሚተነፍሱ ጋዞች) ወይም ያስፈልገዋልየተሻለ የመለጠጥ እና ቀላል መጫኛ,Perfluoroelastomer (FFKM)ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው የኤላስቶሜሪክ ምርጫ ነው፣ ነገር ግን እንደ አንድ መረጋገጥ አለበት።እጅግ በጣም ከፍተኛ የቫኩም ማጽዳት-ደረጃምርት.
   • የቫኩም መስፈርቱ በትንሹ ዝቅተኛ ከሆነ (ለምሳሌ ከፍተኛ ቫክዩም) እና የሙቀት መጠኑ በ250°C ውስጥ ከሆነ፣ፍሎሮካርቦን ጎማ (ኤፍ.ኤም.ኤም.)ነውኢኮኖሚያዊ እና ተግባራዊምርጫ ።
2. .የንድፍ እና የመጫኛ ቁልፍ ነጥቦች:.
   • .የገጽታ ጥራት፡እ.ኤ.አላዩን ሻካራነት (ራ)የታሸገው ወለል ወሳኝ ነው. ለብረት ማኅተሞች, ራ ≤ 0.8 μm ወይም ከዚያ ያነሰ በተለምዶ ያስፈልጋል. ለኤላስቶሜሪክ ማህተሞች ከፍ ያለ አጨራረስ (ራ ≤ 0.4 μm) የመልበስ እና የመፍሰሻ ነጥቦችን ለመቀነስ ይረዳል።
   • .የመጭመቂያ ሬሾ ቁጥጥር፡እ.ኤ.አየመጨመቂያ ሬሾበሚጫኑበት ጊዜ የማኅተም ቀለበት ጥብቅ ቁጥጥር መደረግ አለበት. ከመጠን በላይ መጨናነቅ ዘላቂ የአካል መበላሸት ወይም ጉዳት ሊያስከትል ይችላል, በቂ ያልሆነ መጨናነቅ ደግሞ ወደ ፍሳሽ ይመራዋል.
   • .ዩኒፎርም ማጠንከሪያ፡መቅጠርየተመጣጠነ፣ ባለብዙ-ቦልት ማጠንጠኛ ቅደም ተከተልየመዝጊያውን ወለል መበታተን ወይም ማዛባትን በመከላከል በፍላጅ ላይ የኃይል ስርጭትን እንኳን ማረጋገጥ።
   • .መጋገር::እጅግ በጣም ከፍተኛ የሆነ የቫኩም ሲስተም ብዙ ጊዜ መጋገር ያስፈልጋቸዋል። የተመረጠው የማተሚያ ቀለበት ቁሳቁስ ሁል ጊዜ ማረጋገጥ እንደሚችል ያረጋግጡየስርዓቱን የመጋገሪያ ሙቀት መቋቋም.

ማጠቃለያ

ሁኔታዎች ስርየክፍል ሙቀት እስከ 250°C፣ መግነጢሳዊ መስክ መኖር እና እጅግ በጣም ከፍተኛ የሆነ የቫኩም መስፈርት,ከኦክስጅን ነፃ የሆነ የመዳብ ብረት ማኅተሞች(በተለይ በ Conflat flange ወይም በጸደይ-የታደሉ አወቃቀሮች) በተለምዶ በጣም አስተማማኝ እና ዋና ቴክኒካል መፍትሄ ሆነው ይቆጠራሉ።እጅግ በጣም ዝቅተኛ የጋዝ መውጣት ፍጥነት፣ በጣም ጥሩ ከፍተኛ ሙቀት መቋቋም እና መግነጢሳዊ ያልሆኑ ባህሪያት. በስርዓት ዲዛይን ምክንያት ወይም የሚበላሹ ሚዲያዎችን ለመቆጣጠር አስፈላጊ ከሆነ ኤላስታመሮች አስፈላጊ ከሆኑPerfluoroelastomer (FFKM)እነዚህን ከፍተኛ ፍላጎቶች በአንድ ጊዜ ሊያሟላ የሚችል ብቸኛው የኤላስቶሜሪክ ቁሳቁስ ነው ፣ ግን አንድ ሰው ለከፍተኛ ወጪው መዘጋጀት አለበት።

የመጨረሻው ምርጫ በጠቅላላ የንግድ ልውውጥ ላይ የተመሰረተ መሆን አለበትየተወሰነ የቫኩም ደረጃ አመልካቾች, በጀት, የስርዓት መዋቅር እና ለጥገና እና አስተማማኝነት መስፈርቶች. በሁሉም ጉዳዮች ላይ ከሙያዊ ማህተም አካላት አቅራቢዎች የቴክኒክ ምክር እና ድጋፍ ቅድሚያ ሊሰጠው ይገባል.