ከፍተኛ ሙቀት ያለው የቫኩም ማተሚያ ቁሳቁሶች ምርጫ መመሪያ (400-500 ° ሴ)

ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያለው የቫኩም አካባቢ ማህተሞች

ከ400-500 ዲግሪ ሴንቲግሬድ ባለው ሙቀት እና ከፍተኛ ክፍተት (≤10⁻³ ፓ) በድርብ ጥቃቶች የተለመዱ ማህተሞች በአሰቃቂ ሁኔታ ወድቀዋል - የጎማ ካርቦናይዜስ ፣ የብረት ክሪፕ ፣ ጋዝ መውጣት ክፍሎቹን ይበክላል። ይህ ጽሑፍ ይገልፃልለምን ልዩ ቁሳቁሶች ብቻ ይሰራሉ፣ የወጪ ጥቅም እና የምህንድስና እውነቶች ተጋልጠዋል።


.I. ለምን ልዩ እቃዎች ለድርድር የማይቀርቡ ናቸው።.

.1. የተለመዱ ቁሳቁሶች ሶስት ገዳዮች.

  • .ኦርጋኒክ (ላስቲክ/ፕላስቲክ):

    ፒሮላይዝ ከ 327°C (FFKM ገደብ) በላይ፣ ከጋዝ የሚወጣው ጋዝ ወደ10⁵ ባርኤል/ሰ(1000x ከገደብ በላይ)።

  • .የተለመዱ ብረቶች (304 SS):

    በ 480 ዲግሪ ሴንቲግሬድ ውስጥ ዘና ያለ መዝናናት, የጭንቀት ማቆየት <60%.

  • .መደበኛ ግራፋይት ጋዞች:

    ከቁጥጥር ውጭ በሆነ መልኩ ኦክሳይድ ያድርጉ! የጅምላ መጥፋት በ 420 ° ሴ በአየር ውስጥ ይጀምራል.

.2. አሸናፊ ቁሶች 'ወሳኝ ባህሪያት.

.ቁሳቁስ. .ልዩ ጠርዝ. .የተረጋገጡ ገደቦች.
.ሜታል ቤሎውስ (ኢንኮኔል 625). ዜሮ መውጣት ፣ ፀረ-ሽርሽር >95% የጭንቀት ማቆየት @650°C
.ኦክሳይድ-ተከላካይ ግራፋይት. በዜሮ አቅራቢያ CTE (∆T=500℃) የውጭ ጋዝ ≤1.5×10⁻¹⁰mbar·L/s
.ሞ-የተሸፈነ ግራፋይት. የኦክስጅን መከላከያ .600 ° ሴበአየር ውስጥ (ግኝት)

.የሚያሰቃይ ትምህርትበ 304 ኤስኤስ ማኅተሞች በመጠቀም የPV ሽፋን ፋብሪካ በ10⁻³ ባርኤል/ሰከ72 ሰአት @480°C በኋላ፣ $2M ዋይፋሮችን በመቧጨር።


.II. የአፈጻጸም መከፋፈል.

.1. የብረት ቤሎው ሲስተምስ.

  • .ተለዋዋጭ ማኅተሞች ንጉሥበሌዘር-የተበየደው ቤሎ ± 5mm አማቂ shift ማካካሻ.
  • .ወሳኝ ሂደቶች:

    Argon-shielded pulse welding (HAZ<0.1mm) → የቫኩም ጭንቀት እፎይታ → ኤሌክትሮፖሊሺንግ (ራ≤0.4μm)።

  • .የወጪ እውነታ: 1,200-3,000/ፒሲ (10x gaskets)፣ ግን > ከጥገና-ነጻ

.2. ኦክሳይድ-ተከላካይ ግራፋይት ጋዞች.

  • .የማይንቀሳቀስ ማኅተም እሴት ሻምፒዮንየሲሲ ተጨማሪዎች 600°C የአየር መቻቻልን ያነቃሉ።
  • .የሂደት ቁልፎች:

    የግራፋይት ፎይል ካሊንደሪንግ → ZrP መፍትሄ መጨናነቅ → 1,200 ° ሴ ማቃጠል።

  • .የወጪ ጥቅም: 80-300 / ፒሲ (1/10 bellows) ፣ ለስታቲክ ፍላጀሮች ተስማሚ።

.III. መጫን እና ማምረት Make-or-Break.

.1. Bellows የመጫኛ ትዕዛዞች.

  • .ትክክለኛነት ቅድመ ጭነትየቶርኪ መቻቻል <± 5%

    ቀመር፡ቲ = 0.2 × d × ኤፍ(መ፡ ቦልት ዲያ፣ ኤፍ፡ የንድፍ ጭነት)

  • .Coaxial አሰላለፍ> 0.05ሚሜ/ሜ ማካካሻ የህይወት ዘመንን 90% ይቀንሳል።
  • .መጋገር አስገዳጅ: 48h @200°C ቅድመ መጋገር (በሴሚ F47) - ዝለል እና ቫክዩም መበከል።

.2. ግራፋይት Gasket ወጥመዶች.

  • .ከመጠን በላይ መጨናነቅ የለም።> 35% መጭመቂያ ስብራት ግራፋይት (የሚሰማ “ክራክ” = ውድቀት)።
  • .የገጽታ ማጠናቀቅ: Flange roughness Ra≤1.6μm (የመስታወት አጨራረስ ምርጥ) - ያለበለዚያ መፍሰስ በእጥፍ ይጨምራል።

.IV. የባለቤትነት አብዮት ጠቅላላ ወጪ.

.መፍትሄ. የመጀመሪያ ወጪ የአገልግሎት ሕይወት የ10-አመት TCO*
የብረት ቤሎውስ 2,800 ዶላር / ፒሲ > 10 ዓመታት .2,800 ዶላር.
ኦክሳይድ-ተከላካይ ግራፋይት 200 ዶላር / ፒሲ 2 አመት 1,000 ዶላር
መደበኛ ብረት ኦ-ring $30/ፒሲ 3 ወራት .12,000 ዶላር.

* ሁኔታዎች: 450 ° ሴ ቫክዩም, 8,000 በሰዓት / ዓመት ክወና
.መደምደሚያ: Bellows TCO ልክ ነው23%የ O-rings፣ ወደ ዜሮ ቅርብ የሆነ የስራ ጊዜ ያለው።


.የምህንድስና ፍርድ.

  • .ተለዋዋጭ ማህተሞች (ማሽከርከር/እንቅስቃሴ):
    .የብረት ማሰሪያ ብቻ(ኢንኮኔል 625/Haynes 230) - ምንም ስምምነት የለም።
  • .የማይለዋወጥ ማህተሞች (Flanges/ሽፋን):
    ቅድሚያ ስጥኦክሳይድ-ተከላካይ ግራፋይት(ዋጋ ንኪ) ወይምbellows + በተበየደው ማኅተሞች(ዜሮ-ሌክ ተልዕኮ-ወሳኝ)።

.የደም መፍሰስ ጠርዝ ማስጠንቀቂያዎች:

  1. የጎማ/የፕላስቲክ ማህተሞች>400°C (እንደ “ኤችቲቲ” ቢሸጥም) በጭራሽ አይሞክሩ።
  2. ያልተጋገሩ የቫኩም ስርዓቶች = መዥገር ቦምቦች;
  3. የመጫኛ ትክክለኛነት 90% የማኅተም ሕይወትን ያዛል - 100onalignmentmaycost1M ይቆጥባል።

.የመጨረሻ መልስየማኅተም ምርጫ ስለ ወጪ አይደለም፣ ግንየስርዓት መትረፍ. በ400-500°ሴ ቫክዩም ሲኦል ውስጥ፣ ትክክለኛ ቁሶች፣ ትክክለኛ አፈፃፀም እና ደረጃዎችን ማክበር አስተማማኝ የወጪ አፈጻጸም ሚዛን ይሰጣሉ።


የልጥፍ ጊዜ: ጁላይ-10-2025