৪০০-৫০০°C তাপ এবং উচ্চ ভ্যাকুয়াম (≤১০⁻³ Pa) এর দ্বৈত আক্রমণে, প্রচলিত সীলগুলি বিপর্যয়করভাবে ব্যর্থ হয় - রাবার কার্বনাইজ হয়, ধাতু লতানো হয়, গ্যাস নির্গত হয়ে চেম্বারগুলিকে দূষিত করে। এই নিবন্ধটি প্রকাশ করে কেন শুধুমাত্র বিশেষ উপকরণই কাজ করে, খরচ-লাভ এবং প্রকৌশলগত সত্য উন্মোচিত হওয়ার সাথে সাথে।
I. কেন বিশেষ উপকরণগুলি আলোচনা সাপেক্ষে নয়
১. প্রচলিত উপকরণের তিন খুনি
- জৈব পদার্থ (রাবার/প্লাস্টিক):
পাইরোলাইজ ৩২৭°C (FFKM সীমা) এর উপরে, গ্যাস নির্গমন বেড়ে যায়১০⁻⁵ এমবার·লিটার/সেকেন্ড(সীমার ১০০০ গুণ বেশি)।
- সাধারণ ধাতু (304 SS):
৪৮০°C তাপমাত্রায় ক্রিপ রিলাক্সেশন, স্ট্রেস ধরে রাখা <60%।
- স্ট্যান্ডার্ড গ্রাফাইট গ্যাসকেট:
অনিয়ন্ত্রিতভাবে জারিত হয়! ভর ক্ষয় শুরু হয় ৪২০° সেলসিয়াস তাপমাত্রায়।
2. বিজয়ী উপকরণের নির্ণায়ক বৈশিষ্ট্য
| উপাদান | ইউনিক এজ | প্রত্যয়িত সীমা |
|---|---|---|
| ধাতব বেলো (ইনকোনেল ৬২৫) | গ্যাস নির্গমন শূন্য, হামাগুড়ি রোধী | >৯৫% স্ট্রেস ধরে রাখা @৬৫০°C |
| জারণ-প্রতিরোধী গ্রাফাইট | শূন্যের কাছাকাছি CTE (∆T=500℃) | গ্যাস নির্গমন ≤১.৫×১০⁻¹⁰ mbar·L/s |
| মো-কোটেড গ্রাফাইট | অক্সিজেন বাধা | ৬০০°সে.বাতাসে (বিপ্লব) |
বেদনাদায়ক পাঠ: ৩০৪টি এসএস সিল ব্যবহার করে পিভি লেপ প্ল্যান্টে লিক হয়েছে ১০⁻³ এমবার·লিটার/সেকেন্ড ৭২ ঘন্টা @ ৪৮০° সেলসিয়াস তাপমাত্রার পরে, $২ মিলিয়ন ওয়েফার স্ক্র্যাপ করা হচ্ছে।
II. কর্মক্ষমতা ভাঙ্গন
১. ধাতব বেলো সিস্টেম
- ডায়নামিক সিলের রাজা: লেজার-ঝালাই করা বেলো ±5 মিমি তাপীয় স্থানান্তর ক্ষতিপূরণ দেয়।
- জটিল প্রক্রিয়া:
আর্গন-শিল্ডেড পালস ওয়েল্ডিং (HAZ<0.1mm) → ভ্যাকুয়াম স্ট্রেস রিলিফ → ইলেক্ট্রোপলিশিং (Ra≤0.4μm)।
- খরচের বাস্তবতা: ১,২০০−৩,০০০/পিসি (১০x গ্যাসকেট), কিন্তু ১০ বছরেরও বেশি রক্ষণাবেক্ষণ-মুক্ত।
2. জারণ-প্রতিরোধী গ্রাফাইট গ্যাসকেট
- স্ট্যাটিক সিল ভ্যালু চ্যাম্পিয়ন: SiC সংযোজন 600°C বায়ু সহনশীলতা সক্ষম করে।
- প্রক্রিয়া কী:
গ্রাফাইট ফয়েল ক্যালেন্ডারিং → ZrP দ্রবণ গর্ভধারণ → 1,200°C সিন্টারিং।
- খরচের সুবিধা: ৮০−৩০০/পিসি (১/১০ বেলো), স্ট্যাটিক ফ্ল্যাঞ্জের জন্য আদর্শ।
III. ইনস্টলেশন এবং উৎপাদন
১. বেলো ইনস্টলেশনের আদেশ
- যথার্থ প্রিলোড: টর্ক সহনশীলতা <±5% (অতিরিক্ত সংকোচনের ফলে ধনুকের শব্দ কমে যায়):
সূত্র:
টি = ০.২ × ডি × এফ(d: বল্টু ব্যাস, F: নকশা লোড) - সমাক্ষীয় সারিবদ্ধতা: >০.০৫ মিমি/মিটার অফসেট লাইফটাইম ৯০% কমিয়ে দেয়।
- বেক-আউট বাধ্যতামূলক: ৪৮ ঘন্টা @ ২০০° সেলসিয়াস প্রি-বেক (প্রতি SEMI F47) – ভ্যাকুয়াম এড়িয়ে যান এবং দূষিত করুন।
2. গ্রাফাইট গ্যাসকেটের ত্রুটি
- অতিরিক্ত সংকোচন নেই: >৩৫% কম্প্রেশন ফ্র্যাকচার গ্রাফাইট (শ্রবণযোগ্য "ক্র্যাক" = ব্যর্থতা)।
- সারফেস ফিনিশ: ফ্ল্যাঞ্জ রুক্ষতা Ra≤1.6μm (আয়না ফিনিশের জন্য সর্বোত্তম) - অন্যথায় ফুটো দ্বিগুণ হয়।
IV. মালিকানা বিপ্লবের মোট খরচ
| সমাধান | প্রাথমিক খরচ | সেবা জীবন | ১০ বছরের টিসিও* |
|---|---|---|---|
| ধাতব ধনুর্বন্ধনী | $২,৮০০/পিসি | >১০ বছর | $২,৮০০ |
| জারণ-প্রতিরোধী গ্রাফাইট | ২০০ ডলার/পিসি | ২ বছর | $১,০০০ |
| স্ট্যান্ডার্ড মেটাল ও-রিং | $30/পিসি | ৩ মাস | ১২,০০০ ডলার |
* শর্ত: ৪৫০°C ভ্যাকুয়াম, ৮,০০০ ঘন্টা/বছর অপারেশন
উপসংহার: বেলোস টিসিও ঠিক২৩% প্রায় শূন্য ডাউনটাইম সহ ও-রিংগুলির।
ইঞ্জিনিয়ারিং রায়
- গতিশীল সীল (ঘূর্ণন/আন্দোলন):
কেবল ধাতব হাপর (ইনকোনেল ৬২৫/হেইনেস ২৩০) – কোনও আপস নেই। - স্ট্যাটিক সিল (ফ্ল্যাঞ্জ/কভার):
অগ্রাধিকার দিন।জারণ-প্রতিরোধী গ্রাফাইট(ব্যয়-সংবেদনশীল), অথবাবেলো + ঝালাই করা সিল (জিরো-লিক মিশন-ক্রিটিকাল)।
রক্তপাত-প্রান্ত সতর্কতা:
- ৪০০ ডিগ্রি সেলসিয়াসের বেশি রাবার/প্লাস্টিকের সিল কখনও পরীক্ষা করবেন না (এমনকি যদি "HT" হিসেবে বিক্রি করা হয়);
- বেকড ভ্যাকুয়াম সিস্টেম = টিকিং বোমা;
- ইনস্টলেশনের নির্ভুলতা 90% সিল লাইফ নির্ধারণ করে - 100onalignment সাশ্রয় করে 1M খরচ।
চূড়ান্ত উত্তর: সিল নির্বাচন খরচের উপর নির্ভর করে না, কিন্তু সিস্টেম টিকে থাকার ক্ষমতা৪০০-৫০০°C ভ্যাকুয়াম হেলে, শুধুমাত্র সঠিক উপকরণ, নির্ভুল বাস্তবায়ন এবং মান সম্মতি নির্ভরযোগ্য খরচ-কার্যক্ষমতা ভারসাম্য প্রদান করে।
পোস্টের সময়: জুলাই-১০-২০২৫