ພາຍໃຕ້ການໂຈມຕີສອງຄັ້ງຂອງຄວາມຮ້ອນ 400-500 ° C ແລະສູນຍາກາດສູງ (≤10⁻³ Pa), ປະທັບຕາແບບທໍາມະດາລົ້ມເຫລວຢ່າງຮ້າຍກາດ - carbonizes ຢາງ, creeps ໂລຫະ, outgassing contaminates Chambers. ບົດຄວາມນີ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນເປັນຫຍັງພຽງແຕ່ວັດສະດຸພິເສດເຮັດວຽກ, ດ້ວຍຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຜົນປະໂຫຍດແລະຄວາມຈິງດ້ານວິສະວະກໍາເປີດເຜີຍ.
I. ເປັນຫຍັງວັດສະດຸພິເສດຈຶ່ງບໍ່ສາມາດຕໍ່ລອງໄດ້
1. ສາມຂ້າຂອງວັດສະດຸທໍາມະດາ
- ອິນຊີ (ຢາງ/ພາດສະຕິກ).:
Pyrolyze ສູງກວ່າ 327 ° C (ຂອບເຂດຈໍາກັດ FFKM), ການປ່ອຍອາຍພິດເພີ່ມຂຶ້ນເຖິງ10⁻⁵ mbar·L/s(1000x ເກີນກໍານົດ).
- ໂລຫະທົ່ວໄປ (304 SS).:
ພັກຜ່ອນຢ່ອນອາລົມທີ່ 480 ອົງສາ C, ການຮັກສາຄວາມກົດດັນ <60%.
- Gaskets Graphite ມາດຕະຖານ:
Oxidize ຄວບຄຸມບໍ່ໄດ້! ການສູນເສຍມະຫາຊົນເລີ່ມຕົ້ນຢູ່ທີ່ 420 ອົງສາໃນອາກາດ.
2. ຄຸນສົມບັດຕັດສິນຂອງວັດສະດຸໄຊຊະນະ
| ວັດສະດຸ | ຂອບທີ່ເປັນເອກະລັກ | ຂີດຈຳກັດທີ່ໄດ້ຮັບການຢັ້ງຢືນ |
|---|---|---|
| ທໍ່ໂລຫະ (Inconel 625). | ສູນອອກການອອກກໍາລັງກາຍ, ຕ້ານການ creep | ການຮັກສາຄວາມກົດດັນ> 95% @650°C |
| Graphite ຕ້ານການອອກຊິເດຊັນ | CTE ໃກ້ສູນ (∆T=500℃) | Outgassing ≤1.5×10⁻¹⁰mbar·L/s |
| Mo-Coated Graphite | ອຸປະສັກອົກຊີເຈນ | 600°Cໃນອາກາດ (ຄວາມແຕກຕ່າງ) |
ບົດຮຽນທີ່ເຈັບປວດ: ໂຮງງານເຄືອບ PV ທີ່ໃຊ້ປະທັບຕາ 304 SS ຮົ່ວຢູ່ທີ່10⁻³ mbar·L/sຫຼັງຈາກ 72h @480°C, scraping $2M wafers.
II. ການແບ່ງປະສິດທິພາບ
1. ລະບົບທໍ່ທໍ່ໂລຫະ
- ກະສັດແຫ່ງການປະທັບຕາແບບເຄື່ອນໄຫວ: ເຄື່ອງສູບລົມທີ່ເຊື່ອມດ້ວຍເລເຊີຈະຊົດເຊີຍການປ່ຽນຄວາມຮ້ອນ ± 5 ມມ.
- ຂະບວນການສໍາຄັນ:
ການເຊື່ອມສານກຳມະຈອນແບບ Argon-shielded (HAZ<0.1mm) → Vacuum stress relief → Electropolishing (Ra≤0.4μm).
- ຄວາມເປັນຈິງຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ: 1,200−3,000/ອັນ (10x gaskets), ແຕ່ >10yr ບໍ່ມີການບໍາລຸງຮັກສາ.
2. Gaskets Graphite ທົນທານຕໍ່ອົກຊີເຈນ
- ແຊ້ມມູນຄ່າການປະທັບຕາຄົງທີ່: SiC additives ເຮັດໃຫ້ຄວາມທົນທານຕໍ່ອາກາດ 600°C.
- ກະແຈຂະບວນການ:
Graphite foil calendering → ZrP solution impregnation → 1,200°C sintering.
- ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໄດ້ປຽບ: 80−300/pc (1/10 bellows), ເຫມາະສໍາລັບ flanges static.
III. ການຕິດຕັ້ງ & ການຜະລິດ Make-or-Break
1. ຄຳສັ່ງການຕິດຕັ້ງສຽງດັງ
- Precision Preload: ຄວາມທົນທານຂອງແຮງບິດ <±5% (ການບີບອັດເກີນການບີບອັດດັງ):
ສູດ:
T = 0.2 × d × F(d: bolt dia., F: design load) - ການຈັດຮຽງໂຄແກນ: >0.05mm/m offset slashes ຕະຫຼອດຊີວິດ 90%.
- Bake-Out ບັງຄັບ: 48h @200°C ກ່ອນອົບ (ຕໍ່ SEMI F47) – ຂ້າມ ແລະ ປົນເປື້ອນສູນຍາກາດ.
2. Graphite Gasket Pitfalls
- ບໍ່ມີການບີບອັດເກີນ: >35% compression fractures graphite (Audible “crack” = ຄວາມລົ້ມເຫຼວ).
- ສໍາເລັດຮູບ: Flange roughness Ra≤1.6μm (ກະຈົກສໍາເລັດຮູບທີ່ດີທີ່ສຸດ) – ຖ້າບໍ່ດັ່ງນັ້ນການຮົ່ວໄຫຼເພີ່ມຂຶ້ນສອງເທົ່າ.
IV. ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທັງຫມົດຂອງການປະຕິວັດການເປັນເຈົ້າຂອງ
| ການແກ້ໄຂ | ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍເບື້ອງຕົ້ນ | ຊີວິດການບໍລິການ | TCO 10 ປີ* |
|---|---|---|---|
| ເຄື່ອງເປົ່າໂລຫະ | $2,800/ອັນ | > 10 ປີ | $2,800 |
| Graphite ຕ້ານການອອກຊິເດຊັນ | $200/ອັນ | 2 ປີ | $1,000 |
| O-ring ໂລຫະມາດຕະຖານ | $30/ອັນ | 3 ເດືອນ | $12,000 |
* ເງື່ອນໄຂ: 450°C ສູນຍາກາດ, 8,000 ຊົ່ວໂມງ / ປີ
ສະຫຼຸບ: Bellows TCO ແມ່ນພຽງແຕ່23%.ຂອງ O-rings, ມີເວລາຢຸດໃກ້ສູນ.
ຄໍາຕັດສິນຂອງວິສະວະກໍາ
- ປະທັບຕາແບບໄດນາມິກ (ການຫມຸນ / ການເຄື່ອນໄຫວ).:
ພຽງແຕ່ທໍ່ໂລຫະ(Inconel 625 / Haynes 230) - ບໍ່ມີການປະນີປະນອມ. - ປະທັບຕາຄົງທີ່ (Flanges/Covers).:
ຈັດຄວາມສໍາຄັນgraphite ຕ້ານການຜຸພັງ(ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທີ່ລະອຽດອ່ອນ), ຫຼືທໍ່ທໍ່ + ປະທັບຕາ welded(ບໍ່ມີການຮົ່ວໄຫລພາລະກິດທີ່ສໍາຄັນ).
ການເຕືອນໄພເລືອດອອກ-ແຂບ:
- ຫ້າມທົດລອງຢາງ/ຢາງຢາງ >400°C (ເຖິງແມ່ນວ່າຈະຂາຍເປັນ “HT”);
- ລະບົບສູນຍາກາດທີ່ບໍ່ໄດ້ອົບ = ລະເບີດ ticking;
- ຄວາມແມ່ນຍໍາໃນການຕິດຕັ້ງກໍານົດ 90% ຂອງຊີວິດປະທັບຕາ - ປະຫຍັດ 100onalignmentmaycost1M.
ຄໍາຕອບສຸດທ້າຍ: ການເລືອກປະທັບຕາບໍ່ແມ່ນກ່ຽວກັບຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ, ແຕ່ຄວາມຢູ່ລອດຂອງລະບົບ. ໃນນະລົກສູນຍາກາດ 400-500 ອົງສາ, ວັດສະດຸທີ່ຖືກຕ້ອງ, ການປະຕິບັດທີ່ຊັດເຈນ, ແລະການປະຕິບັດຕາມມາດຕະຖານເຮັດໃຫ້ຄວາມສົມດຸນຂອງຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້.
ເວລາປະກາດ: ກໍລະກົດ-10-2025