400-500°C istilik və yüksək vakuumun (≤10⁻³ Pa) ikili hücumları altında adi möhürlər fəlakətli şəkildə sıradan çıxır - rezin karbonlaşır, metal sürünür, qazın çıxarılması kameraları çirkləndirir. Bu məqalə ortaya qoyurniyə yalnız xüsusi materiallar işləyir, xərc-fayda və mühəndislik həqiqətləri ilə.
.I. Niyə İxtisaslı Materiallar Qeyri-Sazılaşa bilməz.
.1. Adi materialların üç qatili.
- .Üzvi maddələr (rezin/plastik).:
327°C-dən yuxarı piroliz (FFKM həddi), qazın xaric edilməsi10⁻⁵ mbar·L/s(1000 dəfə həddi aşır).
- .Adi metallar (304 SS).:
480°C-də sürünərək rahatlama, stressi saxlama <60%.
- .Standart Qrafit Contalar:
Nəzarətsiz oksidləşin! Kütləvi itki havada 420°C-də başlayır.
.2. Qalib materialların həlledici xüsusiyyətləri.
.Material. | .Unikal kənar. | .Sertifikatlaşdırılmış Limitlər. |
---|---|---|
.Metal körüklər (Inconel 625).. | Sıfır qaz buraxma, sürüşməyə qarşı | >95% stress saxlama @650°C |
.Oksidləşməyə davamlı qrafit. | Sıfıra yaxın CTE (∆T=500℃) | Qazın çıxarılması ≤1,5×10⁻¹⁰mbar·L/s |
.Mo örtüklü qrafit. | Oksigen maneəsi | .600°Chavada (sıçrayış) |
.Ağrılı Dərs: 304 SS möhürlərindən istifadə edən PV örtük zavodu10⁻³ mbar·L/s72 saat @480°C-dən sonra 2 milyon dollarlıq vafli hurdaya atılır.
.II. Performans Dağılımı.
.1. Metal Körük Sistemləri.
- .Dinamik Möhürlərin Kralı: Lazer qaynaqlı körüklər ±5 mm termal sürüşməni kompensasiya edir.
- .Kritik Proseslər:
Arqonla qorunan impuls qaynağı (HAZ<0.1mm) → Vakuum gərginliyinin aradan qaldırılması → Elektropolishing (Ra≤0.4μm).
- .Reallıq dəyəri: 1,200−3,000/pc (10x contalar), lakin >10il baxım tələb etmir.
.2. Oksidləşməyə davamlı qrafit contalar.
- .Statik Möhür Dəyəri Çempionu: SiC əlavələri 600°C hava tolerantlığını təmin edir.
- .Proses Açarları:
Qrafit folqa kalenderləmə → ZrP məhlulunun hopdurulması → 1200°C sinterləmə.
- .Xərc Üstünlüyü: 80−300/pc (1/10 körük), statik flanşlar üçün idealdır.
.III. Quraşdırma & İstehsalat Make-or-Break.
.1. Körük Quraşdırma Əmrləri.
- .Precision Preload: Torka dözümlülük <±5% (həddindən artıq sıxılma körükləri əzər):
Formula:
T = 0,2 × d × F
(d: boltun diametri, F: dizayn yükü) - .Koaksial Alignment: >0.05mm/m ofset slashes ömrü 90%.
- .Pişirmə Məcburi: 48 saat @200°C-də əvvəlcədən bişirin (SEMI F47 üçün) – vakuumu keçin və çirkləndirin.
.2. Qrafit contasının tələləri.
- .Həddindən artıq sıxılma yoxdur: >35% sıxılma qrafiti qırır (eşitli “çat” = uğursuzluq).
- .Səthi bitirmə: Flanş pürüzlülüyü Ra≤1.6μm (güzgü örtüyü optimal) – əks halda sızma ikiqat artır.
.IV. Mülkiyyət İnqilabının Ümumi Dəyəri.
.Həll. | İlkin xərc | Xidmət müddəti | 10 illik TCO* |
---|---|---|---|
Metal Körüklər | 2,800 dollar/pc | >10 il | .2800 dollar. |
Oksidləşməyə davamlı qrafit | 200 dollar/pc | 2 il | 1000 dollar |
Standart Metal O-ring | 30 dollar/pc | 3 ay | .12.000 dollar. |
* Şərtlər: 450°C vakuum, 8000 saat/il işləmə
.Nəticə: Körük TCO sadəcə23%Sıfıra yaxın dayanma vaxtı ilə O-ringlər.
.Mühəndislik hökmü.
- .Dinamik möhürlər (fırlanma/hərəkət).:
.Yalnız metal körüklər(Inconel 625/Haynes 230) - heç bir güzəşt yoxdur. - .Statik möhürlər (flanşlar/qapaqlar).:
Prioritet verinoksidləşməyə davamlı qrafit(xərclərə həssas) və yakörüklər + qaynaqlanmış möhürlər(sıfır sızma missiyası-kritik).
.Qanama-Kənar Xəbərdarlıqları:
- Heç vaxt >400°C rezin/plastik möhürləri sınamayın (“HT” kimi satılsa belə);
- Bişməmiş vakuum sistemləri = tıqqıltı bombaları;
- Quraşdırma dəqiqliyi möhürləmə müddətinin 90%-ni diktə edir - 100 uyğunlaşdırmaya 1 milyon xərcə qənaət edir.
.Yekun Cavab: Möhür seçimi xərclə bağlı deyil, lakinsistemin yaşaması. 400-500°C vakuum cəhənnəmində yalnız düzgün materiallar, dəqiq icra və standartlara uyğunluq etibarlı xərc-performans tarazlığını təmin edir.
Göndərmə vaxtı: 10 iyul 2025-ci il