Yüksək Temperaturlu Vakuum Sızdırmazlıq Materiallarının Seçilməsi Təlimatı (400-500°C)

Yüksək temperaturlu vakuum mühit möhürləri

400-500°C istilik və yüksək vakuumun (≤10⁻³ Pa) ikili hücumları altında adi möhürlər fəlakətli şəkildə sıradan çıxır - rezin karbonlaşır, metal sürünür, qazın çıxarılması kameraları çirkləndirir. Bu məqalə ortaya qoyurniyə yalnız xüsusi materiallar işləyir, xərc-fayda və mühəndislik həqiqətləri ilə.


.I. Niyə İxtisaslı Materiallar Qeyri-Sazılaşa bilməz.

.1. Adi materialların üç qatili.

  • .Üzvi maddələr (rezin/plastik).:

    327°C-dən yuxarı piroliz (FFKM həddi), qazın xaric edilməsi10⁻⁵ mbar·L/s(1000 dəfə həddi aşır).

  • .Adi metallar (304 SS).:

    480°C-də sürünərək rahatlama, stressi saxlama <60%.

  • .Standart Qrafit Contalar:

    Nəzarətsiz oksidləşin! Kütləvi itki havada 420°C-də başlayır.

.2. Qalib materialların həlledici xüsusiyyətləri.

.Material. .Unikal kənar. .Sertifikatlaşdırılmış Limitlər.
.Metal körüklər (Inconel 625).. Sıfır qaz buraxma, sürüşməyə qarşı >95% stress saxlama @650°C
.Oksidləşməyə davamlı qrafit. Sıfıra yaxın CTE (∆T=500℃) Qazın çıxarılması ≤1,5×10⁻¹⁰mbar·L/s
.Mo örtüklü qrafit. Oksigen maneəsi .600°Chavada (sıçrayış)

.Ağrılı Dərs: 304 SS möhürlərindən istifadə edən PV örtük zavodu10⁻³ mbar·L/s72 saat @480°C-dən sonra 2 milyon dollarlıq vafli hurdaya atılır.


.II. Performans Dağılımı.

.1. Metal Körük Sistemləri.

  • .Dinamik Möhürlərin Kralı: Lazer qaynaqlı körüklər ±5 mm termal sürüşməni kompensasiya edir.
  • .Kritik Proseslər:

    Arqonla qorunan impuls qaynağı (HAZ<0.1mm) → Vakuum gərginliyinin aradan qaldırılması → Elektropolishing (Ra≤0.4μm).

  • .Reallıq dəyəri: 1,200−3,000/pc (10x contalar), lakin >10il baxım tələb etmir.

.2. Oksidləşməyə davamlı qrafit contalar.

  • .Statik Möhür Dəyəri Çempionu: SiC əlavələri 600°C hava tolerantlığını təmin edir.
  • .Proses Açarları:

    Qrafit folqa kalenderləmə → ZrP məhlulunun hopdurulması → 1200°C sinterləmə.

  • .Xərc Üstünlüyü: 80−300/pc (1/10 körük), statik flanşlar üçün idealdır.

.III. Quraşdırma & İstehsalat Make-or-Break.

.1. Körük Quraşdırma Əmrləri.

  • .Precision Preload: Torka dözümlülük <±5% (həddindən artıq sıxılma körükləri əzər):

    Formula:T = 0,2 × d × F(d: boltun diametri, F: dizayn yükü)

  • .Koaksial Alignment: >0.05mm/m ofset slashes ömrü 90%.
  • .Pişirmə Məcburi: 48 saat @200°C-də əvvəlcədən bişirin (SEMI F47 üçün) – vakuumu keçin və çirkləndirin.

.2. Qrafit contasının tələləri.

  • .Həddindən artıq sıxılma yoxdur: >35% sıxılma qrafiti qırır (eşitli “çat” = uğursuzluq).
  • .Səthi bitirmə: Flanş pürüzlülüyü Ra≤1.6μm (güzgü örtüyü optimal) – əks halda sızma ikiqat artır.

.IV. Mülkiyyət İnqilabının Ümumi Dəyəri.

.Həll. İlkin xərc Xidmət müddəti 10 illik TCO*
Metal Körüklər 2,800 dollar/pc >10 il .2800 dollar.
Oksidləşməyə davamlı qrafit 200 dollar/pc 2 il 1000 dollar
Standart Metal O-ring 30 dollar/pc 3 ay .12.000 dollar.

* Şərtlər: 450°C vakuum, 8000 saat/il işləmə
.Nəticə: Körük TCO sadəcə23%Sıfıra yaxın dayanma vaxtı ilə O-ringlər.


.Mühəndislik hökmü.

  • .Dinamik möhürlər (fırlanma/hərəkət).:
    .Yalnız metal körüklər(Inconel 625/Haynes 230) - heç bir güzəşt yoxdur.
  • .Statik möhürlər (flanşlar/qapaqlar).:
    Prioritet verinoksidləşməyə davamlı qrafit(xərclərə həssas) və yakörüklər + qaynaqlanmış möhürlər(sıfır sızma missiyası-kritik).

.Qanama-Kənar Xəbərdarlıqları:

  1. Heç vaxt >400°C rezin/plastik möhürləri sınamayın (“HT” kimi satılsa belə);
  2. Bişməmiş vakuum sistemləri = tıqqıltı bombaları;
  3. Quraşdırma dəqiqliyi möhürləmə müddətinin 90%-ni diktə edir - 100 uyğunlaşdırmaya 1 milyon xərcə qənaət edir.

.Yekun Cavab: Möhür seçimi xərclə bağlı deyil, lakinsistemin yaşaması. 400-500°C vakuum cəhənnəmində yalnız düzgün materiallar, dəqiq icra və standartlara uyğunluq etibarlı xərc-performans tarazlığını təmin edir.


Göndərmə vaxtı: 10 iyul 2025-ci il