በሴሚኮንዳክተር ሂደት አካባቢዎች ውስጥ የአምድ ስታቲክ ማህተም ስርዓቶች ምርጫ እና ቴክኒካዊ ትንተና

ማጠቃለያ እና የአሠራር አውድ

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች (እንደ ኢቺንግ፣ ሲቪዲ፣ ዲፖዚሽን እና የቫኩም ማስተላለፊያ ክፍሎች) ውስጥ፣ እንደ አምዶች/ፔድስታል ያሉ ዋና መዋቅራዊ ክፍሎች ወሳኝ ተግባራትን ያከናውናሉ፣ ይህም መዋቅራዊ ድጋፍን፣ አቀማመጥን እና የሙቀት ማስተላለፍን ያካትታል። የአምዱ ውስጣዊ ክፍተት ከፍተኛ የቫኩም ደረጃን መጠበቅ አለበት (10)^-7ፓ)፣ ውጫዊው አካባቢ በከባቢ አየር ግፊት ላይ እያለ እና ከተለያዩ የዝገት ሂደት ጋዞች ጋር ሊገናኝ ይችላል። ይህ ነጭ ወረቀት ለዚህ የተወሰነ የአሠራር ሁኔታ የማይንቀሳቀሱ የማተሚያ ስርዓቶችን መዋቅራዊ ምርጫ እና የቁሳቁስ ተኳሃኝነትን በስርዓት ይተነትናል።

ዋና የአሠራር መለኪያዎች፡

• ውስጣዊ ግፊት: 10^-7 ፓ (ከፍተኛ / እጅግ በጣም ከፍተኛ የቫኩም ማጽጃ)

• ውጫዊ ግፊትየከባቢ አየር ግፊት (0.1 MPa ልዩነት ግፊት)

• የስራ ሚዲያአየር እና ሊሆኑ የሚችሉ ዝገት-አጣዳፊ ሴሚኮንዳክተር ሂደት ጋዞች

• የአሠራር ሙቀት: 110℃

• የማኅተም አይነት: የማይንቀሳቀስ ማኅተም

• የኢንዱስትሪ ደረጃሴሚኮንዳክተር ደረጃ (እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና፣ እጅግ በጣም ዝቅተኛ የጋዝ መጨፍለቅ እና ቅንጣት ማመንጨት)

ክፍል 1፡ የቴክኒክ ተግዳሮቶች እና የዲዛይን ምክንያቶች

1. በከፍተኛ ቫክዩም (10) ስር የጋዝ መውጫ መቆጣጠሪያ^-7 ፓ)፦ እጅግ በጣም ከፍተኛ በሆነ የቫክዩም አካባቢ፣ ከቁሳዊ ገጽታዎች እና ከተለዋዋጭ ኦርጋኒክ ውህዶች የሚወጣው የጋዝ መሟጠጥ የመጨረሻውን የቫክዩም መጠን በእጅጉ ያበላሻል። የማሸጊያ ቁሳቁሶች እጅግ በጣም ዝቅተኛ የእርጥበት መጠን እና የኦርጋኒክ ጋዝ መሟጠጥ መጠን ማሳየት አለባቸው።

2. የዝገት መቋቋም እና የቅንጣት ብክለት ቁጥጥር፦ ሃሎጅን የተደረገባቸው የሂደት ጋዞች (CF4፣ Cl2፣ NF3) በመደበኛ ኤላስቶመሮች ላይ ከባድ መበላሸትን ያስከትላሉ። የቁሳቁስ መበላሸት የቅንጣት መፈጠርን እና የዋፈር ብክለትን ያስከትላል።

3. ከፍተኛ የዲፈረንሻል ግፊት ማኅተም ትክክለኛነት፦ በአምዱ ላይ ያለው የግፊት ልዩነት 0.1 MPa ይደርሳል። በከፍተኛ ክፍተት ስር ጥብቅ የማሸጊያ በይነገጾችን መጠበቅ ጥቃቅን ፍሳሾችን እና “ምናባዊ ፍሳሾችን” ሙሉ በሙሉ መከላከልን ይጠይቃል።

ክፍል 2፡ የማተሚያ አማራጮች እና የቁሳቁስ ትንተና

2.1 ሴሚኮንዳክተር-ደረጃ FFKM ኦ-ሪንግ (ተመራጭ ቀሪ ሂሳብ)

የጥገና ቀላልነትን እና ወጪ ቆጣቢነትን ቅድሚያ ለሚሰጡ ዲዛይኖች፣ ሴሚኮንዳክተር-ደረጃ FFKM O-rings በጣም የበሰለ የኢንዱስትሪ ደረጃን ይወክላሉ።

• የቁሳቁስ ባህሪያትሙሉ በሙሉ ፍሎራይድ የተደረገለት ፖሊመር የጀርባ አጥንት እና የጎን ሰንሰለቶች ከ PTFE ጋር የሚመሳሰል የኬሚካል ኢንተለጀንስ ይሰጣሉ፣ ሁሉንም ማለት ይቻላል የዝገት መቅረጽ እና የጽዳት ጋዞችን ይቋቋማሉ።

• የቫኩም ማሻሻያ፦ ከፍተኛ ሙቀት ባለው ሁለተኛ ደረጃ ቮልካናይዜሽን እና በቫክዩም ቤኪንግ (ከውጪ ጋዝ መቆጣጠሪያ) በልዩ ሁኔታ የተቀነባበረ ሲሆን ይህም አነስተኛ ጋዝ ማውጣት እና እጅግ በጣም ዝቅተኛ አዮኒክ ማውጣት ያስችላል።

• ቁልፍ ጥቅሞች: እጅግ በጣም ጥሩ የመለጠጥ መልሶ ማግኛ፣ ቀላል ጭነት፣ መካከለኛ የፍላንጅ ወለል የማጠናቀቂያ መስፈርቶች እና በ110℃ ዝቅተኛ የመጭመቂያ ስብስብ።

2.2 የPTFE ስፕሪንግ-ኢነርጂድ ማህተሞች (ፓን-ሲልስ)

ዜሮ የኤላስቶመር ጋዝ ማስወገጃ ወይም ፍጹም የኬሚካል መከላከያ ለሚፈልጉ አፕሊኬሽኖች፣ የ PTFE ስፕሪንግ-ኢነርጂድ ማህተሞች እጅግ በጣም ጥሩ የማይንቀሳቀስ የማተሚያ መፍትሄ ይሰጣሉ።

• መዋቅር: በውስጣዊ ዝገት የሚቋቋም የብረት ስፕሪንግ (Hastelloy C-276 ወይም Inconel 718) የተጎላበተ የተሻሻለ የPTFE ጃኬት።

• ቁልፍ ጥቅሞች:

  • ዜሮ ኤልስታምመር ተለዋዋጭ፦ PTFE ምንም አይነት የፕላስቲክ ማጽጃ ወይም የብልት ማጽጃ ንጥረ ነገሮችን አልያዘም፣ ይህም ወደ ዜሮ የሚጠጋ የጋዝ መፈጠርን ያስከትላል።

  • የክሩፕ ካሳ፦ ውስጣዊው የብረት ስፕሪንግ ቀጣይነት ያለው የራዲያል ኃይልን ይሰጣል፣ በረጅም ጊዜ የማይንቀሳቀስ ግፊት ስር ቀዝቃዛ ፍሰትን (ስንዝር) በማሸነፍ እና በ$10^{-7}\text{ Pa}$ ላይ አስተማማኝ የመገናኛ ውጥረትን ያረጋግጣል።

  • ሁለንተናዊ የኬሚካል አለመቻቻልየተሻሻለው PTFE ሁሉንም ማለት ይቻላል የሴሚኮንዳክተር ሂደት ኬሚስትሪዎችን ይቋቋማል።

2.3 የተሸፈኑ የብረት ማኅተሞች (የብረት ኦ-ቀለበቶች / ሲ-ቀለበቶች)

ለማይነጣጠሉ ኮር እጅግ በጣም ከፍተኛ የቫክዩም መገጣጠሚያዎች፣ የብረት ማኅተሞች የመጨረሻውን የፍሳሽ ማስወገጃ መከላከያ ይሰጣሉ።

• መዋቅር: ከገጽታ ጉድለቶች ጋር እንዲጣጣም በብር፣ በወርቅ ወይም በቀጭን PTFE የተሸፈነ አይዝጌ ብረት (316L) ወይም ኒኬል-ቤዝ ቅይጥ (ኢንኮኔል 718) ቱቦ።

• ቁልፍ ጥቅሞችበማሸጊያው አካል በኩል የጋዝ መተላለፊያ አለመኖር እና በ110℃ የሙቀት እርጅናን ለረጅም ጊዜ የመከላከል አቅም።

• ገደቦች፦ እጅግ በጣም ከፍተኛ የመቀመጫ ጭነት እና ጥሩ የፍላንጅ ወለል አጨራረስ ይፈልጋል (Ra < 0.4 um)።

ክፍል 3፡ አጠቃላይ የንጽጽር ሰንጠረዥ

ክፍል 4፡ መደምደሚያ እና ምክሮች

1. ዋና ምክረ ሀሳብ: ይጠቀሙሴሚኮንዳክተር ደረጃ እጅግ በጣም ንጹህ FFKM ኦ-ቀለበቶችይህ አማራጭ ዝቅተኛ የጋዝ መጨፍለቅ፣ የኬሚካል መቋቋም፣ የመትከል ቀላልነት እና የጥገና ቅልጥፍና መካከል ጥሩ ሚዛን ይሰጣል።

2. ሁለተኛ ደረጃ ምክረ ሀሳብለከፍተኛ ዝገት ተጋላጭነት ወይም እጅግ በጣም ጥብቅ ለሆኑ ኦርጋኒክ የጋዝ መጨፍጨፍ ገደቦች፣ ይምረጡየተሻሻለ የPTFE ስፕሪንግ-ኢነርጂ ማህተሞች (ከሃስቴሎይ ስፕሪንግስ ጋር).