Roghnú agus Anailís Theicniúil ar Chórais Séalaithe Statach Colún i dTimpeallachtaí Próisis Leathsheoltóra

Comhthéacs Achoimre & Oibriúcháin

I dtrealamh déantúsaíochta leathsheoltóra (amhail seomraí greanadh, CVD, taiscthe, agus aistrithe folúis), comhlíonann comhpháirteanna struchtúracha lárnacha cosúil le colúin/peidéil feidhmeanna ríthábhachtacha, lena n-áirítear tacaíocht struchtúrach, suíomh, agus aistriú teasa. Caithfidh cuas inmheánach an cholúin leibhéal ard folúis a choinneáil (10^-7Pa）, agus an timpeallacht sheachtrach ag brú atmaisféarach agus d’fhéadfadh teagmháil a bheith aici le gáis phróisis chreimneacha éagsúla. Déanann an páipéar bán seo anailís chórasach ar roghnú struchtúrach agus ar chomhoiriúnacht ábhar córas séalaithe statach don riocht oibriúcháin seo.

Paraiméadair Oibriúcháin Lárnacha:

• Brú Inmheánach: 10^-7 Pa (Folús Ard / Ultra-Ard)

• Brú SeachtrachBrú Atmaisféarach (brú difreálach 0.1 MPa)

• Meáin OibreAer agus gáis phróisis leathsheoltóra a d’fhéadfadh a bheith creimneach

• Teocht Oibriúcháin: 110℃

• Cineál SéalaSéala Statach

• Grád TionscailGrád Leathsheoltóra (Glanacht thar a bheith ard, easghásáil agus giniúint cáithníní thar a bheith íseal)

Roinn 1: Dúshláin Theicniúla & Fachtóirí Dearaidh

1. Rialú Gáisithe faoi Ard-Fholús (10^-7 Pá)I dtimpeallachtaí folúis thar a bheith ard, laghdaíonn dí-ionsú gáis ó dhromchlaí ábhair agus comhdhúile orgánacha so-ghalaithe na leibhéil folúis deiridh go mór. Ní mór d’ábhair shéalaithe rátaí taise agus eisgháthaithe orgánacha thar a bheith íseal a thaispeáint.

2. Friotaíocht Creimeadh & Rialú Éillithe CáithníníIs cúis le meathlú tromchúiseach in elastoméirí caighdeánacha de bharr gáis phróisis halaiginithe (CF4, Cl2, NF3). Bíonn cruthú cáithníní agus éilliú vaiféir mar thoradh ar mheathlú ábhair.

3. Ionracas Séalaithe Brú Difreálach ArdSroicheann an difríocht brú trasna an cholúin 0.1 MPa. Éilíonn sé cosc ​​iomlán ar mhicri-sceitheadh ​​agus ar “sceitheadh ​​fíorúla” chun comhéadain shéalaithe daingean a choinneáil faoi fholús ard.

Roinn 2: Roghanna Séalaithe & Anailís Ábhar

2.1 Fáinní-O FFKM Grád Leathsheoltóra (Cothromaíocht is Fearr)

I gcás dearaí a thugann tús áite d'éascaíocht cothabhála agus d'éifeachtúlacht costais, is ionann O-fáinní FFKM de ghrád leathsheoltóra agus an caighdeán tionscail is aibí.

• Airíonna ÁbharthaSoláthraíonn cnámh droma agus slabhraí taobh polaiméire lánfhluairínithe táimhe cheimiceach atá inchomparáide le PTFE, agus cuireann siad friotaíocht in aghaidh beagnach gach gás greanadh agus glantacháin chreimneach.

• Uasmhéadú FolúisPróiseáilte go speisialta trí vulcanú tánaisteach ardteochta agus bácáil i bhfolús (Rialú Asghásála) chun asghásáil íosta agus eastóscáin ianacha thar a bheith íseal a bhaint amach.

• PríomhbhuntáistíAisghabháil leaisteach den scoth, suiteáil éasca, riachtanais mheasartha maidir le bailchríoch dromchla an flange, agus comhbhrú íosta socraithe ag 110 ℃.

2.2 Séalaí PTFE Fuinnimhithe Earraigh (Séalaí Pan)

I gcás feidhmchlár nach bhfuil gá le haon asghásáil elastomer nó bacainn cheimiceach iomlán iontu, cuireann rónta PTFE le fuinneamh earraigh réiteach séalaithe statach den scoth ar fáil.

• StruchtúrSeaicéad PTFE modhnaithe atá fuinnithe ag earrach miotalach inmheánach atá frithsheasmhach in aghaidh creimeadh (Hastelloy C-276 nó Inconel 718).

• Príomhbhuntáistí:

  • Nialas So-ghalaithe ElastomerNíl aon phlaisteoirí ná gníomhairí vulcanúcháin i PTFE, rud a fhágann nach bhfuil aon ghásáil ann beagnach.

  • Cúiteamh SnámhaSoláthraíonn an sprionga miotail inmheánach fórsa gathach leanúnach, ag sárú sreabhadh fuar (snéalú) faoi bhrú statach fadtéarmach agus ag cinntiú strus teagmhála iontaofa ag $10^{-7}\text{ Pa}$.

  • Táimhe Cheimiceach UilíochTá PTFE modhnaithe in ann seasamh in aghaidh beagnach gach ceimic phróisis leathsheoltóra.

2.3 Séalaí Miotail Brataithe (Fáinní-O Miotail / Fáinní-C)

I gcás hailt fholús ultra-ard croí neamh-in-díshuite, soláthraíonn rónta miotail an cosc ​​​​sceitheanna is fearr.

• StruchtúrFeadánra déanta as cruach dhosmálta (316L) nó cóimhiotal bunaithe ar nicil (Inconel 718) atá brataithe le hairgead, ór, nó PTFE tanaí chun freastal ar neamhfhoirfeachtaí dromchla.

• PríomhbhuntáistíGan aon tréscaoilteacht gáis tríd an gcorp séala agus díolúine fhadtéarmach ó aosú teirmeach ag 110 ℃.

• TeorainneachaÉilíonn sé ualach suíocháin thar a bheith ard agus bailchríoch dromchla flanse mín (Ra < 0.4 um).

Roinn 3: Tábla Comparáide Cuimsitheach

Roinn 4: Conclúid & Moltaí

1. PríomhmholadhÚsáidfáinní-O FFKM thar a bheith glan de ghrád leathsheoltóraTugann an rogha seo an chothromaíocht is fearr idir aschur íseal gásála, friotaíocht cheimiceach, éascaíocht suiteála agus éifeachtúlacht chothabhála.

2. Moladh TánaisteachI gcás nochtadh creimneach foircneach nó srianta dian ar dhíghásáil orgánach, roghnaighrónta PTFE modhnaithe le fuinneamh earraigh (le spriongaí Hastelloy).