ການຄັດເລືອກ ແລະ ການວິເຄາະດ້ານວິຊາການຂອງລະບົບປະທັບຕາຄົງທີ່ແບບຖັນໃນສະພາບແວດລ້ອມຂອງຂະບວນການເຄິ່ງຕົວນຳ

ບົດຄັດຫຍໍ້ ແລະ ສະພາບການດຳເນີນງານ

ໃນອຸປະກອນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ (ເຊັ່ນ: ການແກະສະຫຼັກ, CVD, ການວາງຊັ້ນ, ແລະ ຫ້ອງໂອນສູນຍາກາດ), ອົງປະກອບໂຄງສ້າງຫຼັກເຊັ່ນ: ເສົາ/ຖານ ປະຕິບັດໜ້າທີ່ສຳຄັນ, ລວມທັງການຮອງຮັບໂຄງສ້າງ, ການວາງຕຳແໜ່ງ, ແລະ ການຖ່າຍໂອນຄວາມຮ້ອນ. ຊ່ອງຫວ່າງພາຍໃນຂອງເສົາຕ້ອງຮັກສາລະດັບສູນຍາກາດສູງ (10^-7Pa), ໃນຂະນະທີ່ສະພາບແວດລ້ອມພາຍນອກຍັງຄົງຢູ່ທີ່ຄວາມກົດດັນຂອງບັນຍາກາດ ແລະ ອາດຈະຕິດຕໍ່ກັບອາຍແກັສໃນຂະບວນການກັດກ່ອນຕ່າງໆ. ເອກະສານສີຂາວສະບັບນີ້ວິເຄາະຢ່າງເປັນລະບົບກ່ຽວກັບການເລືອກໂຄງສ້າງ ແລະ ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງວັດສະດຸຂອງລະບົບການປະທັບຕາຄົງທີ່ສຳລັບສະພາບການດຳເນີນງານສະເພາະນີ້.

ພາລາມິເຕີການດໍາເນີນງານຫຼັກ:

• ແຮງດັນພາຍໃນ: 10^-7 Pa (ສູນຍາກາດສູງ / ສູງພິເສດ)

• ແຮງກົດດັນພາຍນອກຄວາມກົດດັນບັນຍາກາດ (ຄວາມກົດດັນທີ່ແຕກຕ່າງກັນ 0.1 MPa)

• ສື່ການເຮັດວຽກອາກາດ ແລະ ອາຍແກັສໃນຂະບວນການເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ອາດເກີດການກັດກ່ອນ

• ອຸນຫະພູມປະຕິບັດການ: 110℃

• ປະເພດປະທັບຕາ: ປະທັບຕາຄົງທີ່

• ຊັ້ນອຸດສາຫະກໍາ: ຊັ້ນເຄິ່ງຕົວນຳ (ຄວາມສະອາດສູງຫຼາຍ, ການປ່ອຍອາຍພິດອອກຕໍ່າຫຼາຍ ແລະ ການສ້າງອະນຸພາກ)

ພາກທີ 1: ສິ່ງທ້າທາຍດ້ານເຕັກນິກ ແລະ ປັດໄຈການອອກແບບ

1. ການຄວບຄຸມການລະບາຍອາຍພິດພາຍໃຕ້ສູນຍາກາດສູງ (10^-7 ປາ)ໃນສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດທີ່ມີຄວາມສູງຫຼາຍ, ການດູດຊຶມອາຍແກັສຈາກພື້ນຜິວຂອງວັດສະດຸ ແລະ ສານປະກອບອິນຊີທີ່ລະເຫີຍໄດ້ຈະເຮັດໃຫ້ລະດັບສູນຍາກາດສຸດທ້າຍຫຼຸດລົງຢ່າງຮ້າຍແຮງ. ວັດສະດຸປະທັບຕາຕ້ອງມີຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ ແລະ ອັດຕາການປ່ອຍອາຍພິດອິນຊີຕໍ່າຫຼາຍ.

2. ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ ແລະ ການຄວບຄຸມການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກອາຍແກັສຂະບວນການຮາໂລເຈນ (CF4, Cl2, NF3) ເຮັດໃຫ້ເກີດການເສື່ອມສະພາບຢ່າງຮຸນແຮງໃນອີລາສໂຕເມີມາດຕະຖານ. ການເສື່ອມສະພາບຂອງວັດສະດຸນຳໄປສູ່ການສ້າງອະນຸພາກ ແລະ ການປົນເປື້ອນຂອງແຜ່ນແພ.

3. ຄວາມສົມບູນຂອງການຜະນຶກຄວາມດັນທີ່ແຕກຕ່າງກັນສູງຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄວາມກົດດັນທົ່ວຖັນບັນລຸ 0.1 MPa. ການຮັກສາໜ້າຕ່າງການຜະນຶກທີ່ແໜ້ນໜາພາຍໃຕ້ສູນຍາກາດສູງຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການປ້ອງກັນຢ່າງສົມບູນຕໍ່ການຮົ່ວໄຫຼຂອງຂະໜາດນ້ອຍ ແລະ “ການຮົ່ວໄຫຼແບບເສມືນ.”

ພາກທີ 2: ທາງເລືອກໃນການປະທັບຕາ ແລະ ການວິເຄາະວັດສະດຸ

2.1 ວົງແຫວນໂອ FFKM ເກຣດເຄິ່ງຕົວນຳ (ສົມດຸນທີ່ຕ້ອງການ)

ສຳລັບການອອກແບບທີ່ໃຫ້ຄວາມສຳຄັນກັບຄວາມສະດວກໃນການບຳລຸງຮັກສາ ແລະ ປະສິດທິພາບດ້ານຕົ້ນທຶນ, ວົງແຫວນໂອ FFKM ຊັ້ນເຄິ່ງຕົວນຳ ເປັນຕົວແທນຂອງມາດຕະຖານອຸດສາຫະກຳທີ່ມີອາຍຸຍືນທີ່ສຸດ.

• ຄຸນສົມບັດຂອງວັດສະດຸກະດູກສັນຫຼັງໂພລີເມີທີ່ມີຟລູອໍໄຣນຢ່າງເຕັມທີ່ ແລະ ລະບົບຕ່ອງໂສ້ຂ້າງໃຫ້ຄວາມเฉื่อยชาທາງເຄມີທຽບເທົ່າກັບ PTFE, ຕ້ານທານກັບອາຍແກັສທີ່ກັດກ່ອນ ແລະ ການທຳຄວາມສະອາດເກືອບທັງໝົດ.

• ການເພີ່ມປະສິດທິພາບສູນຍາກາດປຸງແຕ່ງພິເສດໂດຍຜ່ານການວູລະຄາໄນເຊຊັນຂັ້ນສອງທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ການອົບດ້ວຍສູນຍາກາດ (ການຄວບຄຸມການລະບາຍອາຍອອກ) ເພື່ອໃຫ້ໄດ້ການລະບາຍອາຍອອກໜ້ອຍທີ່ສຸດ ແລະ ສານສະກັດໄອອອນຕ່ຳຫຼາຍ.

• ຂໍ້ໄດ້ປຽບຫຼັກ: ການຟື້ນຕົວຈາກຄວາມຍືດຫຍຸ່ນທີ່ດີເລີດ, ຕິດຕັ້ງງ່າຍ, ຄວາມຕ້ອງການການສຳເລັດຮູບໜ້າແປນປານກາງ, ແລະ ການບີບອັດໜ້ອຍທີ່ສຸດທີ່ 110℃.

2.2 ປະທັບຕາ PTFE ແບບສະປິງທີ່ມີພະລັງງານ (Pan-Seals)

ສຳລັບການນຳໃຊ້ທີ່ຕ້ອງການການລະບາຍອາຍອອກຂອງອີລາສໂຕເມີ ຫຼື ອຸປະສັກທາງເຄມີຢ່າງແທ້ຈິງ, ປະທັບຕາທີ່ມີພະລັງງານຈາກສະປິງ PTFE ສະເໜີວິທີແກ້ໄຂການປະທັບຕາສະຖິດທີ່ໂດດເດັ່ນ.

• ໂຄງສ້າງເສື້ອ PTFE ທີ່ຖືກດັດແປງໄດ້ຮັບພະລັງງານຈາກສະປິງໂລຫະທີ່ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນພາຍໃນ (Hastelloy C-276 ຫຼື Inconel 718).

• ຂໍ້ໄດ້ປຽບຫຼັກ:

  • ທາດລະເຫີຍອີລາສໂຕເມີສູນPTFE ບໍ່ມີສານປະສົມພາດສະຕິກ ຫຼື ສານວູລະຄາໄນເຊີ ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ການປ່ອຍອາຍພິດອອກເກືອບເປັນສູນ.

  • ການຊົດເຊີຍການເລືອຄານສະປິງໂລຫະພາຍໃນໃຫ້ແຮງລັດສະໝີຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ເອົາຊະນະກະແສເຢັນ (ການເລືອຄານ) ພາຍໃຕ້ຄວາມກົດດັນສະຖິດໄລຍະຍາວ ແລະ ຮັບປະກັນຄວາມກົດດັນຕໍ່ການຕິດຕໍ່ທີ່ໜ້າເຊື່ອຖືໄດ້ທີ່ $10^{-7}\text{ Pa}$.

  • ຄວາມเฉื่อยชาທາງເຄມີທົ່ວໄປPTFE ທີ່ຖືກດັດແປງຕ້ານທານກັບເຄມີສາດຂອງຂະບວນການເຄິ່ງຕົວນຳເກືອບທັງໝົດ.

2.3 ປະທັບຕາໂລຫະເຄືອບ (ວົງແຫວນໂລຫະ O / ວົງແຫວນ C)

ສຳລັບຂໍ້ຕໍ່ສູນຍາກາດທີ່ມີຄວາມສູງສູງສຸດຂອງແກນກາງທີ່ບໍ່ສາມາດຖອດອອກໄດ້, ປະທັບຕາໂລຫະໃຫ້ການປ້ອງກັນການຮົ່ວໄຫຼທີ່ດີທີ່ສຸດ.

• ໂຄງສ້າງທໍ່ເຫຼັກສະແຕນເລດ (316L) ຫຼື ໂລຫະປະສົມນິກເກີນ (Inconel 718) ເຄືອບດ້ວຍເງິນ, ຄຳ, ຫຼື PTFE ບາງໆເພື່ອໃຫ້ສອດຄ່ອງກັບຂໍ້ບົກຜ່ອງຂອງພື້ນຜິວ.

• ຂໍ້ໄດ້ປຽບຫຼັກ: ບໍ່ມີອາຍແກັສຊຶມຜ່ານຕົວປະທັບຕາ ແລະ ມີພູມຕ້ານທານໄລຍະຍາວຕໍ່ກັບການແກ່ຕົວຈາກຄວາມຮ້ອນທີ່ 110℃.

• ຂໍ້ຈຳກັດຕ້ອງການນ້ຳໜັກບ່ອນນັ່ງສູງຫຼາຍ ແລະ ມີພື້ນຜິວໜ້າແປນທີ່ລະອຽດ (Ra < 0.4 um).

ພາກທີ 3: ຕາຕະລາງປຽບທຽບທີ່ສົມບູນແບບ

ພາກທີ 4: ສະຫຼຸບ ແລະ ຄຳແນະນຳ

1. ຄຳແນະນຳຫຼັກ: ການນຳໃຊ້ວົງແຫວນ FFKM ທີ່ມີຄວາມສະອາດສູງໃນລະດັບເຄິ່ງຕົວນຳຕົວເລືອກນີ້ສະເໜີຄວາມສົມດຸນທີ່ດີທີ່ສຸດລະຫວ່າງການປ່ອຍອາຍພິດຕໍ່າ, ຄວາມຕ້ານທານສານເຄມີ, ຄວາມສະດວກໃນການຕິດຕັ້ງ, ແລະ ປະສິດທິພາບໃນການບຳລຸງຮັກສາ.

2. ຄຳແນະນຳສຳຮອງສຳລັບການສຳຜັດກັບສານກັດກ່ອນທີ່ຮ້າຍແຮງ ຫຼື ຂໍ້ຈຳກັດການລະບາຍອາຍພິດອິນຊີທີ່ເຂັ້ມງວດທີ່ສຸດ, ໃຫ້ເລືອກປະທັບຕາ PTFE ທີ່ມີພະລັງງານສະປິງທີ່ຖືກດັດແປງ (ພ້ອມດ້ວຍສະປິງ Hastelloy).